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1. 什么是MEMS?

1、什么是MEMS?

MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems）是指将微型传感器、执行器和微处理器等组件集成到微型芯片上的技术。这一技术被广泛应用于多个领域，包括移动设备、医疗设备、汽车、航空航天以及工业自动化等。

MEMS是微机电系统。以下是关于MEMS的详细解释：定义 MEMS，即微机电系统，是一种融合了微电子和机械技术的微型系统。它结合了微电子技术的精度和机械制造的强度，形成了一种可在微小尺度上实现复杂功能的系统。由于其微小的尺寸，通常仅在微米至毫米范围内，因此被称为微机电系统。

MEMS，即Micro-Electro-Mechanical System的缩写，中文直译为“微机电系统”。它在英文中的缩写词广泛应用于描述微型电子和机械装置的集成系统。这个概念包含了微小的电子元件与机械部件的精密结合，具有广泛的应用领域，如自动化装配、光学器件设计、无线通信和计算机技术等。

mems即微机电系统（英语：Microelectromechanical Systems，缩写为MEMS）是将微电子技术与机械工程融合到一起的一种工业技术，它的操作范围在微米范围内。比它更小的，在纳米范围的类似的技术被称为纳机电系统。微机电系统（MEMS， Micro-Electro-Mechanic System）是一种先进的制造技术平台。

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